能谱仪（EDS）

发布者：崔玉双发布时间：2020-12-10浏览次数：553


  该设备为扫描电镜的附件，可实现对样品表面元素成分的微区检测，其空间分辨率可达到纳米，可进行定性及定量分析，分析元素范围从3号元素Li到95号元素Am。

 

  在入射电子束的作用下，样品表面原子会产生具有特定能量的X射线。该仪器通过捕获和分析出不同能量X射线的强度，从而推导出样品的元素成分及其含量。


  采用能量选择型EsB探测器，集成式AsB探测器，高效In-lens SE 探测器，Everhart-Thornley探测器，红外CCD 等。